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在当前的制造业环境中,无人化和自动化已经成为了发展的主流趋势,加之在半导体制造业中,12寸的晶圆盒尺寸大,重量重,人工长期搬运会对身体有损伤,而且人工搬运也会对产品的良品率造成影响,因此,半导体制造厂需要提升自身的自动化水平。 在天车上安装半导体RFID读写器,在行车轨道节点处粘贴RFID标签。通过RFID读写器接收行车轨道站点处的RFID标签,从而获得天车的行车位置信息,对天车进行实时的位置动态监测,并根据自身所在的位置进行线路规划与调度,确保天车的作业安全距离与运输效率。半导体RFID读写器还可与天车的控制系统相结合,能够有效地解决天车的防碰撞问题,实现天车地自动化作业安全,同步提升安全和生产效率。 FOUP晶圆盒上安装TI载码体标签,标签内录入着晶圆芯片的所有信息,如晶圆尺寸、制造日期、流程信息等。当天车搬运FOUP晶圆盒时,半导体RFID读写器接收来自TI载码体标签的相关信息,确保所搬运的FOUP晶圆盒是准确。在行驶到相应的存储/放置位置时,半导体RFID读写器再次识别目的地的标签信息,并将符合的信息的FOUP晶圆盒放到相应的位置,同时将拿取到放置时所有的信息上传到管理系统处,若是产品有瑕疵等不良品的出现,可依据这些数据进行产品生产运输过程的溯源,帮助快速定位到问题点上。