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晶圆制造过程中的显影步骤是什么?

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显影(photoresist developing),显影是将显影液应用于曝光后的光刻胶。显影液是一种化学溶剂,作用是洗去光刻胶中被曝光或未被曝光的部分,从而在晶圆上得到出所需的图案。

具体来说:在正胶中,曝光部分在显影过程中会被洗去。在负胶中,未曝光部分在显影过程中会被洗去。

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