回复芯圈那些事：掩膜版我们自足了吗
芯圈那些事
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掩膜版保护膜，mask pellicle，是一种透明的薄膜，在生产中覆盖在掩膜版的表面。顾名思义，主要对掩膜版起物理与化学保护作用。 物理保护：保护掩膜版表面的图案免受在搬运或使用过程中的物理损伤。防止灰尘和其他污染物落在掩膜版表面。 化学保护：防止化学试剂或腐蚀性气体与掩膜版表面发生化学反应。
