可能灰尘颗粒进入到真空逻辑阀中没有排出,影响了性能。在吸盘未吸到产品时,真空逻辑阀会吸入空气,积累的多了,可能就有衰减。
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如图现在设计一款吸附载台,需要兼容不同的尺寸,又不想来回切气路控制吸附范围,然后用了真空逻辑阀,第一次试验的时候是可以吸附真空表值79%,并且完成吸附后的工艺的,但是三个月后再用,发现吸附不住屏幕了,并且真空表值再百分之47%,也没有真空逻辑阀的作用了,底部结构是吸盘结构。是哪里出了差错,还是真空逻辑阀不能这么用呢?