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Morglory推出超精单晶金刚石盘,将应用于化学机械抛光中

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半导体技术中,CMP工艺用单晶金刚石替代多晶金刚石,通过激光切割单晶金刚石盘,提高加工精度和稳定性,延长使用寿命。

近日,Morglory公司推出新一代单晶金刚石盘,采用先进单晶金刚石激光切割技术,实现极致金字塔尖端结构,增强耐用性和耐磨性,提高CMP工艺精度和效率。目前,这一新一代单晶金刚石盘已在多家半导体工艺制造商中进入试用阶段。其研磨效果在顶点高度、角度和间距的均匀性等方面表现出了极高的精度和稳定性,并获得了初步的积极反馈。未来,这款产品预计将在全球半导体工艺应用市场进一步推广,为全球半导体行业的技术升级提供强有力的支持。

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