回复仪山愚公：成果还发在国际顶尖光学期刊上，太牛了，这下扬名国际了
仪山愚公
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近日，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所国家光栅制造与应用工程技术研究中心巴音贺希格和李文昊研究团队在大口径光栅衍射波前控制方面取得进展。该成果以“Controlling the wavefront aberration of a large-aperture and high-precision holographic diffraction grating”为题发表于国际顶尖光学期刊《Light: Science & Applications》。 研究团队提出了一种光栅—激光互补式的工作台位移测量技术，在远端利用受环境因素影响小的光栅干涉仪进行长距离测量，近端利用激光干涉仪进行短距离测量，从而解决工作台位移测量量程与精度的矛盾问题，工作台测量重复性精度达到±6nm。研究团队还建立了纳米精度干涉场参数测量系统，通过两套测量系统可以准确获取工作台的位移误差和曝光光束相位分布，利用动态相位控制系统调制干涉条纹相位分布实现相邻干涉条纹的相位精确拼接。
