回复热热热的力量：很高兴看到国内企业在上海微电子装备的带领下，正逐步走向世界前沿
热热热的力量
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5 月 6 日消息，上海微电子装备（集团）股份有限公司申请 “退火方法及退火设备” 专利（公开号 CN119920689A ），于 2023 年 10 月申请。 该专利聚焦半导体技术领域，退火方法为：将基板移至退火设备运动平台，确定初始圆心坐标；在平台上方设位移传感器测基板距离；运动平台和 / 或位移传感器水平运动，识别基板至少三个突变位置，测量基板上表面至少三个调平位置高度，进而确定定心偏差与调平误差。 此专利仅用位移传感器实现调焦调平及二次对准，不依赖相机图像采集，能节省设备内传感器安装空间，降低设备成本。 该公司成立于 2002 年，注册资本 26612.41 万人民币，对外投资 10 家企业，拥有丰富的商标、专利信息以及行政许可，展现出强大的企业实力与创新能力。
