回复机械小兵：期待看到这款超高速机械齿轮增速器在更多的实际应用场景中发挥重要作用
机械小兵
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近日，重庆大学高端装备机械传动全国重点实验室与国家卓越工程师学院科研团队，成功自研超高速机械齿轮增速器，并通过香港圓動科技有限公司现场验收交付，实现半导体制造关键装备领域重大突破。 验收中，该增速器完成1小时48000rpm连续运转，以及15000rpm-50000rpm变转速运转测试，振动、温升、噪音等性能指标符合设计要求。 作为半导体制造核心装备，其应用前景广泛。在晶圆制造、封装测试等场景，如3D封装中提升钻孔效率、减少热损伤，刻蚀机中优化气体流量控制、提升刻蚀均匀性等。 超高速机械齿轮增速器将低速高扭矩运动转化为高速低扭矩运动。面对超高转速对振动、噪声等提出的严苛挑战，研发团队耗时近7个月，突破高速传动系统振动噪声控制等关键技术，成功打造机电一体成套装备。 高端装备机械传动全国重点实验室聚焦高端装备核心零部件难题，国家卓越工程师学院构建“N+2”学术架构。此次成功研制，是双方协同创新成果，为半导体制造产业发展注入强劲动力。
