机械人生
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中电科电子装备集团有限公司发布多项半导体设备国产化产品，为国内外芯片制造企业提供一站式解决方案。 中国电子科技集团突破高性能离子源、高速晶圆传输等核心技术，自主研制出中束流、大束流、高能等离子注入机，工艺段覆盖至28纳米，形成了全谱系离子注入的一站式解决方案，让注入离子的效率大大提高。因此，离子注入机具有很高的科技含量。 据介绍，离子注入机对洁净度要求很高。在芯片制造过程中，通常有70多道离子注入工序，如果每道工序都有杂质颗粒污染，产品质量就难以达标。因此，这种装备的注入能量要控制得很精准，还要在很多工艺技术上精益求精。
