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飞秒激光制备微透镜阵列技术存哪些难点要攻克?

 机械狗

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飞秒激光双光子聚合技术和化学刻蚀辅助飞秒激光烧蚀加工技术都具有灵活制造复杂微结构的能力,使得飞秒激光加工技术成为重要的微透镜阵列的加工方式,然而在实际制造和应用中仍然存在一些问题。

飞秒激光双光子聚合因其逐点扫描的加工方式,往往需要花费数小时才能完成微纳米器件的制造,这使得它在实现大尺度结构和高精度加工之间存在着矛盾,不适用于实际生产。

采用湿法或干法刻蚀辅助飞秒激光烧蚀的加工方式能够进一步提高制造效率,获得光滑的表面结构。然而,借助腐蚀液和刻蚀腔进一步刻蚀时可控性不高,微结构尺寸不易控制,得到的微透镜形貌较为单一,需要进一步优化工艺;而且激光烧蚀的减材加工方式,使得制备的结构均为凹面透镜阵列,需要借助复制工艺获得凸面透镜阵列。

此外,这两种技术在加工效率上都有待进一步提升。

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