绝不是靠运气!
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EUV 光刻是以波长为 10-14nm 的极紫外光作为光源的芯片光刻技术,简单来说,就是以极紫外光作“刀”,对芯片上的晶圆进行雕刻,让芯片上的电路变成人们想要的图案。如今,世界上最先进的 EUV 光刻机可以做到的“雕刻精度”在 7nm 以下,比一根头发的万分之一还要细。华为自主研发设计的麒麟 990 芯片,采用的就是 7nm Plus EUV 工艺。该技术的核心之一正是激光脉冲,通快公司是目前全球唯一一家能够供应 EUV 光刻用激光放大器的厂商。 凭借通快在 EUV 极紫外光刻方面的突出贡献,荣获了 2020 年德国科学成就领域最高荣誉——德国未来奖,该奖项旨在表彰在技术、工程和生命科学领域取得的特殊成就。2020 年 11 月 25 日,德意志联邦总统弗兰克-瓦尔特-施泰因迈尔在柏林维尔蒂音乐厅向通快颁发了该奖项。