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在半导体行业,想要真正地不受限于人,研发国产光刻机必然是绕不过的坎儿。 荷兰ASML掌握着全球领先的光刻机生产技术,但这家公司无法自由向我们供货,极大地限制了我国在半导体行业发展。 现在有关国产ArFi光刻机的消息已经传来了,因为就在前些时候,国望光学的超净室工程已经开标,官方明确表示,该生产基地将生产多个工艺的光学曝光系统,其中就包括28nm。 可见,28nm分辨率是ArFi光刻机的终极水平,想要达到28nm分辨率,就必须解决透镜光学系统这道难关,但现在国望光学已经取得了突破,意味着掌握了业界领先的技术。