卢工
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有关激光齿轮测量仪，日本报道较多。大阪精机开发用于基准传递、渐开线样板检测的CNC高精度齿轮测量仪，采用了高精度气浮主轴，气浮导轨，高精度长、圆编码器的同时，还采用了激光测长系统进行齿面精度检测。据报道仪器测量精度(重复精度)0.2~0.3μm。日本AMTEC公司的G3-SYSTEM 50非接触式齿轮测量仪采用了激光全息技术，实现了精确、高速测量。该仪器是一台由伺服电机驱动X、Y、Z、C轴运动的四轴(圆柱)坐标测量机。仪器配置了CONOPROBE激光全息测量头，当其物镜为HD25mm时，测头的绝对精度<1μm，重复性1σ<0.2μm，工作区域为0.65mm。该仪器可测量渐开线直、斜齿轮和花键、螺纹等，今后还将可以测量蜗杆、伞齿轮等。齿轮模数小至0.1mm，直径1~50mm，齿宽0.1~100mm，齿数4~200。由于采用激光非接触测量方式，仪器可以测量齿面上非渐开线齿根部分几何形状，专门开发的仿真软件可以模拟求得被测齿轮与其配对齿轮啮合时的传动误差，进行相应的FFT频谱分析;所测数据和分析数据还可通过LAN共享。
