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适用于真空环境的液晶基板搬运机器人问世

 机器人世界

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尼得科株式会社的集团公司尼得科仪器株式会社(旧日本电产三协)开发出了能够在真空环境下工作的液晶基板搬运机器人,该机器人具有与在大气环境下工作同等的关节自由度。据悉,尼得科仪器在用于有机EL基板蒸镀工艺的搬运机器人领域中,全球市场份额名列前茅,本产品也充分运用了该专有技术。

在真空环境下工作的机器人,其各个关节都内置了密封装置,以防止空气和灰尘等从机器人的机械臂等内部逸出,这往往是导致可动关节自由度降低的原因。为此,尼得科仪器产品采用了与减速机一体化的磁性密封件,可以将密封件的使用数量控制在最小范围,确保了与大气环境同等的自由度。为了满足客户的需求,产品线包括回旋镖式和SCARA式两种臂型,两种臂型采用的是可以通用的单元,有效地控制了成本。

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