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日前，中电科电子装备集团有限公司自主研发的国内首台中束流离子注入机在中芯国际大生产线上稳定流片逾200万，首台200mmCMP设备实现了销售。这是国产200mmCMP设备首次进入集成电路大生产线，有效解决了制约我国集成电路产业自主可控发展的瓶颈问题。
CMP是集成电路制造七大关键设备之一，用于平坦化工艺及铜互联工艺。
电科装备迎难而上，两端发力。在承担“十二五”02专项“28—14nm抛光设备及成套工艺、材料产业化”项目的同时，面向国内市场的紧迫需求，自主投入研制200mmCMP商用设备，形成300mm、200mm设备研发齐头并进、相互支撑的局面。
从2015年1月开始，电科装备CMP设备研发团队用无数的不眠之夜，终浇灌出CMP设备产业化之花：突破了10余项关键技术，完成了技术改进50余项，终于在2017年8月成功研发出了国内首台拥有完全自主知识产权的200mmCMP商用机，成功打破国外技术封锁垄断。经严格的万片“马拉松”测试，该设备目前可媲美国际同类设备。
据悉，在接下来的6个月里，200mm CMP设备要正式接受大生产的考验，设备的可靠性和一致性将经受严格考核。
