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无论对研究还是制作，为了实现薄膜材料的特殊功能（例光学、磁性、半导、超导、铁电等基础特性和实用功能等），需要检测评价与这些功能相关的特性。评价表征薄膜材料的目的有下述几顶： (1) 在检测评价结果的指导下，通过改变工艺条件，调薄膜发组织、成分、结构等，实现所要求的功能. (2) 寻找最佳的工艺条件,获得性能的良好稳定性. (3) 为设备定型及工艺条件的确定提供依据. (4) 发现新结构,开发新功能.
无论对研究还是制作，为了实现薄膜材料的特殊功能（例光学、磁性、半导、超导、铁电等基础特性和实用功能等），需要检测评价与这些功能相关的特性。评价表征薄膜材料的目的有下述几顶：
(1) 在检测评价结果的指导下，通过改变工艺条件，调薄膜发组织、成分、结构等，实现所要求的功能.
(2) 寻找最佳的工艺条件,获得性能的良好稳定性.
(3) 为设备定型及工艺条件的确定提供依据.
(4) 发现新结构,开发新功能.
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韩松青
