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9月22日消息，上海微电子装备集团官方近日发布消息，宣布推出新一代大视场高分辨率先进封装光刻机。据介绍，新品光刻机主要应用于高密度异构集成领域，具有高分辨率、高套刻精度和超大曝光视场等特点。目前，上海微电子已与多家客户达成新一代先进封装光刻机销售协议，首台封装光刻机将于年内交付。
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