广东国规防静电技术检验中心有限公司
下载贤集网APP入驻自媒体
纳米薄膜分为两类：一类是由纳米粒子组成(或堆砌而成)的薄膜，另一类是在纳米粒子间有较多的孔隙或无序原子或另一种材料。纳米粒子镶嵌在另一基体材料中的颗粒膜就属于第二类纳米薄膜。纳米薄膜的制备方法按原理可分为物理方法和化学方法两大类，按物质形态主要有气相法和液相法两种。
1、物理方法:
1）、真空蒸发(单源单层蒸发；单源多层蒸发；多源反应共蒸发)
2）、磁控溅射
3）、离子束溅射（单离子束(反应)溅射；双离子束(反应)溅射；多离子束反应共溅射）
4）、分子束外延(MBE)
2、化学方法：
1） 化学气相沉积(CYD)：金属有机物化学气相沉积；热解化学气相沉积；等离子体增强化学气相沉积；激光诱导化学气相沉积；微波等离子体化学气相沉积。
2） 溶胶-凝胶法
3） 电镀法
