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学者制备出高密度堆垛层错强化氮化钽/氮化钛多层膜

 新材料前沿潜力股

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奥地利科学院的学者通过将层错能(SFE)极低的 VB 族过渡金属氮化物(TMN)TaN 与 TiN 结合,制备了具有高密度堆叠故障的 TiN/TaN 多层膜。在Λ=20 nm时,薄膜的峰值硬度为36±2.4 GPa。HRTEM结果表明,全位错的解离产生了SFs网络,并形成了Lomer-Cottrell阵列。这些发现为我们设计具有平面缺陷的 TMN 多层膜提供了新的视角。该论文在 Acta Materialia 发表。

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