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材料每日新鲜报
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为了制造含有石墨烯的无标记和快速生成的半导体生物传感器器件，直接在技术上重要的介电和半导体基板上生长均匀的石墨烯薄膜是相关的。然而，长期以来，人们一直直觉地认为，在直接生长过程中形成的非理想无序结构，以及由此产生的劣质电性能，将不可避免地导致传感性能的下降。 近日，清华大学Wangyang Fu等研究人员在《Small》期刊发表论文。研究基于等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术在 4 英寸硅晶片上直接生长石墨烯，构建了石墨烯生物传感器芯片，薄膜均匀性极佳且产量高。该成果揭示了将直接生长的 PECVD 石墨烯加工成高性能传感器件的方法，具有重要的经济效益和社会意义。
