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优艾智合突破AMHS“卡脖子”,助力半导体物流自动化

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半导体制造作为科技产业的核心,对洁净度、精度和稳定性要求极高。传统人工物料搬运方式效率低下,且易引入污染与误差,成为制约半导体产业发展的瓶颈之一。

日前,优艾智合通过自主研发的高精度SLAM导航技术与移动机器人解决方案,成功攻克半导体制造中的物流自动化难题。其AMR(自主移动机器人)产品可在Class 1超净环境中稳定运行,振动值严格控制在0.1g以下,满足晶圆级微震动抑制要求,同时通过CE和SEMI S2国际认证,操作精度可达±1mm,性能比肩国际一流水平。

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