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8月22日从中国化学工程集团(以下简称中国化学)获悉,中国化学华陆公司“一种用于多晶硅生产提高还原沉积反应效率的方法”近日荣获由国家知识产权局颁授的第二十四届中国专利银奖。 多晶硅是太阳能光伏电池产业、半导体工业和电子信息产业中重要的功能性材料。目前改良西门子法是多晶硅的主流生产工艺。该方法采用高纯氯硅烷在还原炉内进行气相沉积反应生产高纯多晶硅,即在1050℃—1080℃的硅芯表面,氯硅烷被还原为硅并不断沉积生长,形成多晶硅棒。
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